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扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
发布日期:
2025-04-30
实施日期:
2025-04-30
本文件规定了扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术的方法原理、仪器、样品要求、测量前的准备、测量条件的选择、允许的误差和分析结果的表述。
本文件适用于扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)的使用。
本文件规定了扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术的方法原理、仪器、样品要求、测量前的准备、测量条件的选择、允许的误差和分析结果的表述。
本文件适用于扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)的使用