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扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求
发布日期: 2025-04-30
实施日期: 2025-04-30
本文件规定了扫描电子显微镜用肖特基电子枪的基本原理、电子束装置结构、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于扫描电子显微镜用肖特基电子枪。 本文件规定了扫描电子显微镜用肖特基电子枪的基本原理、电子束装置结构、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于扫描电子显微镜用肖特基电子枪
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发布单位或类别: 中国-团体标准
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