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现行 GB/T 14015-1992
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硅-蓝宝石外延片 Silicon on sapphire epitaxial wafers
发布日期: 1992-12-28
实施日期: 1993-08-01
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片
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