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现行 SJ 21164-2016
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MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求
实施日期: 2017-03-01
本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中圆片减薄抛光工艺的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于圆片的机械减薄及化学机械抛光工艺
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