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现行
Detail specification for magnetic heading sensors
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
General specification for fiber optical speed sensor
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期: 2006-08-07
现行
SJ 21164-2016
MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21165-2016
MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21166-2016
MEMS惯性器件划片工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21167-2016
MEMS惯性器件圆片键合工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21168-2016
MEMS惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21169-2016
MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21170-2016
MEMS惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期:
现行
SJ 21171-2016
MEMS惯性器件光刻工艺技术要求
发布单位或类别:行业标准-电子
发布日期: