现行
SJ 21262-2018
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
购买正版
选择购买版本
本服务由中国标准服务网提供
更多
前往中国标准服务网获取更多购买信息
支持批量购买纸质版标准
MEMS惯性器件芯片在片测试技术要求
Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求。本标准适用于MEMS惯性器件敏感芯片一(以下简称芯片