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现行 SJ 21262-2018
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MEMS惯性器件芯片在片测试技术要求 Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布日期: 2018-01-18
实施日期: 2018-05-01
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求。本标准适用于MEMS惯性器件敏感芯片一(以下简称芯片
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